Leybold真空计的量程范围

Leybold真空计的量程范围东莞艾科自动化设备关于它的在较高压力时(10～1Pa)利用压力差U型管压力计，麦克劳真空计，薄膜计，弹簧管压力计等 。在10～10Pa的中间压力范围，利用气体性质(热传导，粘性)的变化而做成的皮氏计、粘性真空计。在低压力时，使用将气体分子电离而测量的电离真空计。表2 真空计的适用压力范围 真空计的名称可测的压力范围(Pa)水银压力计(U型管)10～10油压力计(U型管)10～10油压力计(U型管)3*10～1麦克劳真空计(一般型和特殊型) 10～10弹性不变形真空计10～10隔膜真空计(机械式)10～10隔膜真空计(电气式)10～10电离真空计(三极管型)10～10超高真空用B-A型10～10极高真空用热阴极磁控计10～10高真空用(舒尔茨型)10～10冷阴极真空计1～10皮拉尼真空计10～10热电偶真空计10～10热敏电阻真空计10～10粘性真空计1～10克努曾真空计10-1～10莱宝真空计TTR91S，莱宝TTR91S真空计，TTR91S莱宝真空计，真空规管，皮拉尼计Oerlikon真空计Leybold真空计的量程范围按照Oerlikon真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。利用力学性能的真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规；利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼（Pirani）电阻规和热电偶规；利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。 如右图所示，细的铜管受气体压力不同会有舒展现象，会带动杠杆和齿轮旋转，使得指针指示在不同刻度上，即可读出相应的气压值。这种规的测量范围一般在100Pa至1atm。 如右图所示，在不同压力下金属膜片受力不同会有不同尺度的不变形，使得金属膜片和电极之间的电容变化，通过测量电容的变化量，即可知道金属膜片上气压的变化。这种规的测量范围一般横跨4个量级，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。这种规的优点是灵敏度很高。缺点是必须在高于环境温度的恒温条件下使用，以消除温度不同对膜片力学性能的影响，使用前一般需要预热数小时。 也叫做热电阻真空计，它是利用电阻与温度之间关系的原理工作的。如右图所示，由于不同气压下气体分子热传导能力不同，当给热丝加恒定的电流时，由于气压不同通过气体传导走的热量不同，热丝所保持的温度就不同，这导致热丝电阻大小不同，通过测量热丝电阻大小就可以推算气压大小。如果配合电桥测量热丝电阻的变化，将有效提高测量的准确度。这种规的测量范围一般在0.1Pa至1000Pa。由于不同气体在相同气压时导热性不同，所以这种规需要在不同的使用气体下标定。 如右图所示，热电偶规与皮拉尼电阻规基本原理一致，只是它不用测量热丝电阻的变化，而是用热电偶直接测量热比的温度变化。测量范围一般与在0.1Pa至1000Pa。与皮拉尼电阻规一样，这种规也需要在不同的使用气体下标定。 如右图所示，热阴极电离规中，由热阴极即灯丝发射电子，电离真空中的气体分子，产生离子，由收集极收集产生的离子，形成离子电流，通过测量离子电流的大小即可推算出真空中气体分子的密度，进而得到气压大小。Leybold真空计的量程范围德国莱宝真空计有：- 用于测量粗真空的各种工作原理的机械指针式真空表。- 各种间接测量的数显真空规，它们是：- 热电阻真空规(皮拉尼规) TTR91、TTR91S、TTR96、TTR96S- 冷阴极电离真空规(潘宁规) PTR225- 薄膜电容规 CTR100、CTR91- 薄膜/皮拉尼复合规 TTR100、TTR100S- 冷阴极电离/皮拉尼复合规 PTR90- 热阴极电离/皮拉尼复合规 ITR90- 便携式真空表TM90、TM100- 米6体育Center和Display系列真空计

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